Роторная система
Силовой сердечник сухого вакуумного насоса представляет собой точно подогнанный роторный узел, обычно состоящий из двух-трех винтовых или кулачковых-роторов. Эти высокоточные-металлические роторы зацепляются друг с другом с микронными-зазорами, используя встречное-вращение для продвижения газа от впускного отверстия к выпускному отверстию. Уникальная конструкция профиля роторов,-например, эвольвентный или дугообразный профиль-определяет эффективность откачки; Скорость вращения может достигать 3000–6000 об/мин, а степень одноступенчатого сжатия может превышать 10:1.
Уплотнительная структура
В отличие от насосов с-с масляным уплотнением, сухие насосы сохраняют целостность вакуума благодаря механизму трехслойного-уплотнения:
Лабиринтные уплотнения: многоступенчатые извилистые каналы, расположенные на концах ротора, используют сопротивление воздушному потоку для блокировки утечек.
Газовый барьер: инертный газ впрыскивается в критические зазоры для создания барьера пневматического давления.
Специализированные покрытия: поверхности ротора покрыты такими материалами, как PEEK (полиэфирэфиркетон), который обеспечивает как износостойкость, так и пониженный коэффициент трения.
Эти конструктивные особенности удерживают скорость утечки ниже 0,5 Па·м³/с, тем самым удовлетворяя строгим требованиям чистоты в таких отраслях, как производство полупроводников.
Модуль охлаждения: «Защитник температуры» для непрерывной работы
Из-за отсутствия смазки на масляной-основе сухие насосы требуют интеллектуальной системы управления температурным режимом:
Воздушное охлаждение: ребра рассеивания тепла из алюминиевого сплава в сочетании с центробежным вентилятором рассеивают до 60% выделяемого тепла.
Водяное охлаждение: внутренний контур циркуляции воды из медных-трубок обеспечивает эффективность теплообмена, которая в три раза выше, чем при воздушном охлаждении.
Охлаждение с фазовым изменением-. В некоторых моделях используется технология тепловых трубок, обеспечивающая коэффициент теплопроводности, который в 100 раз выше, чем у чистой меди.
