Сухие механические вакуумные насосы имеют широкий спектр применения, прежде всего в следующих областях:
В процессе подготовки поликремния в системах химического осаждения из паровой фазы при низком-давлении (LPCVD);
В процессах травления полупроводников. Эти производственные процессы часто включают использование или образование агрессивных газов и абразивных частиц;
В некоторых процессах,-генерирующих частицы-за пределами полупроводниковой промышленности-, когда нежелательно, чтобы частицы смешивались с насосным маслом, а желательно, чтобы они выбрасывались из насоса; Для удовлетворения этих требований можно использовать определенные типы сухих механических вакуумных насосов;
Сухие вакуумные насосы являются подходящим выбором при дистилляции, сушке, дегазации и упаковке в химической, фармацевтической и пищевой промышленности, где необходимо предотвратить загрязнение органическими растворителями;
В качестве передних-насосов (обдирочных насосов) в обычных-безмасляных и чистых вакуумных системах для предотвращения загрязнения масла.
