Экспериментальные требования для определения размера вакуумного насоса
Выбор размера вакуумного насоса в первую очередь продиктован конкретными целями эксперимента. Небольшие вакуумные насосы-хорошо подходят для сценариев, требующих низких скоростей потока и точного контроля-таких как химическое осаждение из паровой фазы (CVD) или обработка небольших образцов,-тогда как большие вакуумные насосы подходят для экспериментов, требующих быстрой эвакуации или обработки больших объемов, например моделирования окружающей среды в больших вакуумных камерах. Критическими показателями, которые следует учитывать, являются скорость откачки насоса и максимальный уровень вакуума, а не просто его физические размеры.
Параметры производительности перевешивают физический объем
Согласование скорости откачки: часовая производительность насоса должна быть немного выше максимальной газовой нагрузки эксперимента.
Требования к уровню вакуума. Потребности существенно различаются в зависимости от режима вакуума:-грубого вакуума (1000–1 мбар), среднего вакуума (1–10⁻³ мбар) или высокого вакуума (<10⁻³ mbar).
Оценка совместимости: Конструкционные материалы насоса должны быть устойчивы к воздействию определенных газов, участвующих в эксперименте (например, агрессивных или легковоспламеняющихся газов).
Баланс энергопотребления. Потребление энергии на холостом ходу у большого насоса может быть в 3–5 раз выше, чем у маленького насоса.
Скрытые соображения для конкретных случаев использования
Пространственная планировка лаборатории часто упускается из виду: небольшие настольные-насосы обеспечивают портативность, но создают заметный шум, тогда как большие напольные-насосы требуют специального водопровода и установки. Требуемая продолжительность непрерывной работы также влияет на выбор.-Небольшой насос может перегреться при непрерывной работе в течение 8 часов, а периодическое использование большого насоса представляет собой пустую трату ресурсов. Кроме того, затраты на техническое обслуживание существенно различаются: объем масла, необходимый для замены масла в большом насосе, обычно в 7–10 раз больше, чем объем масла, необходимый для небольшого насоса.
